催化-等離子組合技術是一種復合式氧化技術，VUV/O3/PACS，在等離子發射器及紫外光源發出等離子體和高能光子的共同作用下，設備內部發生等離子體裂解反應、VUV紫外光解反應、臭氧高級氧化反應、光催化氧化反應以及PACS協同氧化反應等復雜的過程，有效降解大分子有機物質，經過一系列復雜的氧化還原反應后最終生成小分子化合物CO2和H2O等。

溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，由電子、離子、自由基和中性粒子組成。低溫等離子體有機氣體凈化器是利用等離子體。 以每秒800萬次至5000萬次的速度反復轟擊異味氣體的分子， 去激活、 電離、裂解廢氣中的各種成份， 從而發生氧化等一系列復雜的化學反應，再經過多級凈化，將有害物轉化為潔凈的空氣釋放至大自然。 光催化用特制的高能高臭氧 UV紫外線光束照射惡臭氣體， 裂解惡臭氣體如：氨、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物 H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如 CO2、 H2O等。 利用高能高臭氧 UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧， 即活性氧， 因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合， 進而產生臭氧。 眾所周知臭氧對有機物具有極強的氧化作用， 對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的清除效果。 納米光催化 TiO2， 其作用機理簡單來說： 納米光催化劑 TiO2在特定波長的光的照射下受激生成"電子一空穴"對（一種高能粒子）， 這種"電子一空穴"對和周圍的水、氧氣發生作用后，就具有了極強的氧化－還原能力， 能將空氣中醛類、 烴類等污染物直接分解成無害無味的物質， 以及破壞細菌的細胞壁， 殺滅細菌并分解其絲網菌體， 從而達到了消除空氣污染的目的。 廢氣利用收集排風設備輸入到本凈化設備后， 凈化設備運用高能 UV紫外線光束、 臭氧O3及納米光催化 TiO2等技術組合起來對廢氣進行協同分解氧化反應， 使廢氣降解轉化成無害無味化合物、 水和二氧化碳， 再通過排風管道排出。